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      納米二氧化硅
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      如何避免二氧化硅層表面的缺陷

      2019-05-22 11:40:18

      氧化層表面造成各種各樣黑斑的關鍵緣故有下列幾類,一種是硅片表面解決不干凈,殘余著一些拈污的殘渣粒子,高溫下沾附在納米二氧化硅層的表面,產生部分小黑點,江蘇瀚方科技有限公司說這類難題只需用心解決硅片就能清除。

      另一種是因為石英管長期性應用,處于高溫地區的石英管造成乳白色塑料薄膜,這類乳白色塑料薄膜的構造較為疏松,大氣旋吹開或實際操作時振動就會導致粒子掉下去.落入硅片表面就會產生氧化層表面部分凸起。因此應提升對石英管的清理解決及適度拆換脆化的石英管是很必須的。

      納米二氧化硅

      實際操作時一定堅決杜絕水珠噴到石英管中,特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時,當溫度過高,發生爆發式燒開時,通常會將水滴立即噴到石英管中,如落入硅片上,就會發生五顏六色斑點。此外清理過的硅片上如殘余水漬,也會在氧化影片上發生斑點。

      如在二氧化硅表面存有黑斑時,黑斑處的氧化層對殘渣的掩蔽功效很有可能無效,因而導致元器件特性下降,若有很大的突起黑斑時,還會繼續導致光刻技術實際操作品質降低,危害全部芯管生產制造的良品率,因此稻殼二氧化硅生產設備廠家在生產制造中應盡量減少發生黑斑。

      氧化層針孔的造成與氧化的方式相關,一般熱氧化幾乎不造成針孔??墒羌偃绻杵钠焚|不太好,有比較嚴重的織構,而織構的地區又聚集較多的熱擴散系數大的殘渣,比如,銅、鐵等,在這種地區就不可以非常好地生長發育出二氧化硅層,因此產生氧化層針孔,這種針孔一般人眼不容易發覺,有時候也稱埋孔,蔓延時它能使殘渣部分透過,掩蔽無效,進而導致元器件走電擴大,抗壓減少,乃至離斷,或是導致鋁電級與二氧化硅層下的地區短路故障。為了更好地清除針孔,應挑選缺點少的光伏材料,而且表面光滑、整平。清理時要嚴苛實際操作,避免重金屬超標殘渣臟污硅片表面。


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